L?p ph? l?ng ??ng h?i v?t ly là c?ng ngh? x? ly b? m?t tiên ti?n ???c s? d?ng r?ng r?i trên th? gi?i. Nguyên t?c làm vi?c c?a nó là s? d?ng s? phóng khí ?? ion hóa(chǎn) m?t ph?n khí ho?c ch?t bay h?i trong ?i?u ki?n chan kh?ng, và l?ng ??ng ch?t bay h?i ho?c ch?t ph?n ?ng c?a nó trên ?? trong khi các ion khí ho?c ion ch?t bay h?i b?n phá. Hi?n nay, c?ng ngh? PVD ???c s? d?ng r?ng r?i nh?t trên th? tr??ng ch? y?u ???c chia thành ba lo?i: phún x? magnetron, m? ion ?a h? quang và l?ng ??ng h?i.

Ph? phún x? Magnetron PVD

Nguyên t?c làm vi?c: các electron va ch?m v?i các nguyên t? argon trong quá trình t?ng t?c ??n ch?t n?n d??i tác d?ng c?a ?i?n tr??ng, làm ion hóa(chǎn) m?t s? l??ng l?n các ion và electron argon, và các electron bay ??n ch?t n?n. Các ion argon t?ng t?c quá trình b?n phá m?c tiêu d??i tác ??ng c?a ?i?n tr??ng, và m?t s? l??ng l?n các nguyên t? m?c tiêu b? v?ng ra ngoài và l?ng ??ng trên b? m?t c?a l?p c? s? ?? t?o thành m?t l?p màng.

??c ?i?m c?a l?p ph? phún x?

(1) h?t nh?

L?p ph? phún x? có th? làm cho các h?t màng m?n, phù h?p v?i l?p ph? quang h?c

(2) t? l? l?ng ??ng th?p

L?p ph? phún x? kh?ng phù h?p v?i l?p ph? c?ng nghi?p vì t?c ?? l?ng ??ng th?p và hi?u qu? th?p

(3) l?p ph? ??ng nh?t

L?p ph? phún x? có các ??c tính c?a các h?t nh? và l?ng ??ng ch?m, và l?p ph? có ?? chính xác cao có th? ??t ???c v?i ch? ?? t?i phù h?p

(4) l?c liên k?t cao

So v?i l?p ph? truy?n th?ng, l?p ph? phún x? có ?? bám dính cao h?n v?i b? m?t

(5) quy trình ph?c t?p

L?p ph? phún x? yêu c?u c?u hình cao h?n

L?p ph? ion ?a h? quang

Nguyên t?c làm vi?c: ph??ng pháp phóng ?i?n h? quang ???c s? d?ng ?? làm bay h?i tr?c ti?p kim lo?i trên m?c tiêu cat?t r?n. V?t li?u bay h?i là các ion c?a v?t li?u c?c am phát ra t? ?i?m sáng c?a h? quang c?c am, sau ?ó l?ng ??ng trên b? m?t c?a ?? d??i d?ng màng m?ng.

B?ng cách k?t h?p phóng ?i?n phát sáng, c?ng ngh? plasma và bay h?i chan kh?ng, m? ion kh?ng ch? có th? c?i thi?n ch?t l??ng phim mà còn m? r?ng ph?m vi ?ng d?ng c?a phim.

??c ?i?m c?a l?p ph? h? quang

(1) hi?u qu? s?n xu?t cao h?n

(2) n?ng l??ng ion ??n l? c?a l?p ph? h? quang có th? làm cho l?p ph? bám ch?c trên b? m?t ??

(3) quy trình ?n ??nh, có th? ??t ???c s? ki?m soát chính xác h?n trên l?p ph? composite

l?p ph? l?ng ??ng h?i

Nguyên t?c làm vi?c: trong ?i?u ki?n chan kh?ng, v?t li?u ph? (ho?c v?t li?u màng) ???c làm bay h?i và khí hóa(chǎn) b?ng ph??ng pháp gia nhi?t và bay h?i nh?t ??nh, và các h?t bay lên b? m?t ?? ?? t?o thành màng.

??c tính c?a l?p ph? l?ng ??ng h?i

(1) quy trình ??n gi?n, c?ng ngh? tr??ng thành và ?ng d?ng r?ng r?i

(2) nó kh?ng phù h?p v?i v?t li?u có ?i?m nóng ch?y cao và v?t li?u có ?? c?ng th?p, và nó kh?ng phù h?p ?? s?n xu?t quy m? l?n vì th?i gian ph? ch?m

Hi?u su?t c?a l?p ph? PVD

So v?i các c?ng ngh? t?ng c??ng b? m?t truy?n th?ng, ch?ng h?n nh? m? ?i?n, m? ?i?n phan và x? ly nhi?t hóa(chǎn) h?c, l?p ph? PVD có hi?u su?t bám dính t?t, ch?t l??ng l?p ph? t?t, nhi?u lo?i v?t li?u m? và ?? dày c?a màng là micron. Do ?ó, các tính ch?t v?t ly và hóa(chǎn) h?c khác nhau c?a b? m?t ph?i có th? ???c c?i thi?n mà kh?ng ?nh h??ng ??n kích th??c ban ??u c?a ph?i. Ngoài vi?c m? phi kim lo?i ho?c kim lo?i trên ph?i kim lo?i, PVD c?ng có th? ???c m? kim lo?i ho?c phi kim lo?i trên phi kim lo?i, ho?c th?m chí là nh?a, cao su, th?ch anh, g?m, v.v., ?? ??t ???c các ch?c n?ng ch?ng mài mòn, gi?m ma sát, ch?ng ?n mòn, ch?ng g?, ch?u nhi?t và ch?ng oxi hóa(chǎn).

Theo nhi?u th?ng kê, vi?c s? d?ng h?t dao ph? PVD kh?ng ch? gi?m s? d?ng ch?t tháo khu?n, chi phí nhan c?ng và th?i gian thay khu?n mà còn c?i thi?n ?áng k? s?n l??ng và n?ng su?t, mang ??n gi?i pháp hi?u qu? cho doanh nghi?p nh?m t?ng hi?u qu? và gi?m chi phí, ti?t ki?m chi phí n?ng l??ng và gi?m thi?u ? nhi?m.