1 Gi?i thi?u L?ch s? c?a nhi?u x? tán x? ng??c ?i?n t? (EBSD) nên ???c b?t ngu?n t? m?u nhi?u x? hình d?i ???c Kikuchi nhìn th?y trong kính hi?n vi ?i?n t? truy?n qua vào n?m 1928, ???ng Kikuchi, m?c dù ???ng Kikuchi này ???c truy?n ?i?n t?. Cho ??n n?m 1954, Alam, Blackman và Pashley c?ng ?? s? d?ng kính hi?n vi ?i?n t? truy?n qua ?? quay phim các m?u kikuchi góc r?ng phan c?t các tinh th? LiF, KI, NaCl, PbS2 kh?i phim, ?ay là ph??ng pháp nhi?u x? tán x? ng??c ?i?n t? ??u tiên. N?m 1973, Venables và Harland ?? ti?n hành m?t nghiên c?u tinh th? h?c v? v?t li?u b?ng cách s? d?ng các m?u nhi?u x? tán x? ng??c ?i?n t? trên kính hi?n vi ?i?n t? quét, m? ra ?ng d?ng c?a EBSD trong khoa h?c v?t li?u. Vào cu?i nh?ng n?m 1980, Dingley ?? s? d?ng màn hình và camera truy?n hình ?? nh?n và thu ???c các m?u nhi?u x? tán x? ng??c c?a ?i?n t?. Vào nh?ng n?m 1990, vi?c t?o khu?n m?u t? ??ng ?? ??t ???c. V?i s? phát tri?n nhanh chóng c?a máy ?nh k? thu?t s?, máy tính và ph?n m?m, s?n ph?m hi?n t?i EBSD ?? nh?n ra s? t? ??ng hóa(chǎn) hoàn toàn t? vi?c ti?p nh?n và thu th?p m?u cho ??n hi?u chu?n. Có th? nh?n ???c h?n 100 khung hình / giay m?u Kikuchi và k?t qu? hi?u chu?n, ???c s? d?ng r?ng r?i trong ??a ch?t, vi ?i?n t?, khoa h?c v?t li?u, v.v. B? m?t m?u và ph??ng ngang kho?ng 70 °. Khi chùm ?i?n t? t?i ?i vào m?u, nó s? b? phan tán b?i các nguyên t? trong m?u. M?t ph?n ?áng k? các ?i?n t? thoát ra kh?i b? m?t m?u do góc tán x?. Ph?n này c?a ?i?n t? ???c g?i là ?i?n t? tán x? ng??c. Các ?i?n t? b? tán x? ng??c trong quá trình r?i m?u v?i h? m?u có m?t tinh th? th?a m?n ?i?u ki?n nhi?u x? Bragg 2dsinθ = λ r?ng m?t ph?n c?a nhi?u x? t?o thành hai ??nh ??i v?i ?i?m tán x?, và m?t ph?ng tinh th? vu?ng góc v?i hai hình nón. b? m?t, Hai m?t nón và màn hình nh?n sau khi hình thành m?t c?t c?a d?i sáng, d?i Kikuchi. ???ng trung tam c?a m?i vùng kikuchi t??ng ?ng v?i m?t c?t ngang c?a m?t ph?ng n?i nhi?u x? Bragg x?y ra t? ?i?m tán x? c?a ?i?n t? trên m?u và màn hình nh?n, nh? trong hình. 1. M?u nhi?u x? tán x? ng??c ?i?n t? ???c g?i là m?u nhi?u x? tán x? ng??c ?i?n t? (EBSP). M?t EBSP th??ng ch?a nhi?u h?n m?t b?ng t?n Kikuchi. Nh?n màn hình ?? nh?n EBSP ???c máy ?nh k? thu?t s? CCD s? hóa(chǎn) và g?i ??n máy tính ?? hi?u chu?n và tính toán. ?i?u ?áng chú y là EBSP xu?t phát t? m?t l?p m?ng kho?ng vài ch?c nanomet bên d??i b? m?t c?a m?u. Các ?i?n t? sau h?n, m?c dù nhi?u x? Bragg c?ng có th? x?y ra, có th? b? phan tán thêm b?i các nguyên t? ?? thay ??i h??ng chuy?n ??ng khi chúng ?i ra kh?i b? m?t m?u h?n n?a, cu?i cùng tr? thành m?t sau c?a EBSP. Do ?ó, nhi?u x? tán x? ng??c ?i?n t? là m?t ph??ng pháp phan tích b? m?t. Th? hai, ly do t?i sao m?u nghiêng kho?ng 70 ° là góc nghiêng càng l?n thì càng t?o ra nhi?u ?i?n t? tán x? ng??c và hình thành m?u EBSP càng m?nh. Tuy nhiên, góc nghiêng l?n s? d?n ??n vi?c ??nh v? chùm tia ?i?n t? trong b? m?t m?u kh?ng ???c phép làm gi?m m?u ?? phan gi?i kh?ng gian c?a b? m?t s?n ph?m và các ?nh h??ng tiêu c?c khác, vì v?y bay gi? EBSD nghiêng m?u kho?ng 70 °. Nguyên t?c hình thành M?u nhi?u x? tán x? ng??c electron ch?a b?n th?ng tin liên quan ??n m?u: th?ng tin ??i x?ng tinh th?; th?ng tin ??nh h??ng tinh th?; th?ng tin toàn v?n tinh th?; th?ng tin h?ng s? m?ng. h? tinh th? v?i h? s? c?u trúc b?ng kh?ng s? kh?ng t?o thành d?i Kikuchi do c??ng ?? nhi?u x? b?ng kh?ng. Kikuchi Kikuchi khác nhau giao nhau v?i s? hình thành c?a Kikuchi. Vì Kikuchi t??ng ?ng v?i h? m?t ph?ng tinh th?, nên Kikuchi t??ng ???ng v?i h??ng chung c?a m?i h? tinh th? t??ng ?ng v?i m?i d?i Kikuchi, t?c là h??ng c?a tr?c tinh th?. Nh? có th? th?y t? Hình 2, Kikuchi r?t ??i x?ng quay. ??i x?ng quay này liên quan tr?c ti?p ??n ??i x?ng c?a c?u trúc tinh th?. C? th?, ??i x?ng quay t??ng ?ng v?i tr?c tinh th? t??ng ?ng có thêm ??i x?ng tam, t?c là ??i x?ng 2 phép quay. Ch?ng h?n nh? tinh th? l?p ph??ng [111] h??ng cho ??i x?ng ba vòng quay, và m?u EBSP [111] Kikuchi r?t sáu ??i x?ng. Tính ??i x?ng c?a c?u trúc tinh th? có th? ???c chia thành 230 lo?i nhóm kh?ng gian. D?ng nhi?u x? tán x? ng??c ?i?n t? ???c hình thành b?i nhi?u x? Bragg kh?ng th? phan bi?t gi?a các thành ph?n ho?t ??ng ??i x?ng trong nhóm kh?ng gian và cùng c??ng ?? nhi?u x? do cùng h? s? c?u trúc c?a (h, k, l) và (-h, -k, -l) S? ra ??i c?a ??i x?ng quay th? hai, EBSP kh?ng th? phan bi?t gi?a 32 lo?i nhóm ?i?m, ch? có th? phan bi?t gi?a hai lo?i ??i x?ng quay c?a nhóm 11 Laue. Nói cách khác, các m?u EBSP ch? có th? có 11 ??i x?ng quay khác nhau. ???c chi?u x? b?ng chùm ?i?n t?. M?i ?i?n c?c Kikuchi t??ng ?ng v?i ph?n m? r?ng c?a m?t ph?ng tinh th? t??ng ?ng t?i n?i chi?u x? chùm tia ?i?n t? và Màn hình ch?p nh?n ???c hình thành b?ng cách ?ánh ch?n, do ?ó, EBSP ch?a th?ng tin ??nh h??ng tinh th? h?c c?a m?u. H??ng tinh th? c?a m?u có th? ???c tính b?ng ph??ng pháp kikuchi ??n ho?c kikuchi ba trong ?i?u ki?n v? trí ??t m?u, v? trí c?a chùm ?i?n t? t?i và d?ng hình h?c c?a màn hình nh?n. ch?t l??ng c?a m? hình EBSP. Khi m?ng tinh th? còn nguyên v?n, các c?nh c?a d?i Kikuchi trong m?u EBSP ???c hình thành là s?c nét, và th?m chí có th? quan sát th?y nhi?u x? b?c cao (nh? th? hi?n trong Hình 2); khi m?ng tinh th? tr?i qua s? bi?n d?ng nghiêm tr?ng và gay ra các khuy?t t?t nh? s? bi?n d?ng và bi?n d?ng c?a m?ng tinh th? và m?t s? l??ng l?n các sai l?ch Kikuchi c?nh m?, khu?ch tán (Hình 3). Ly do là vì d?i Kikuchi hình thành b?i nhi?u x? Bragg, ph?n ánh s? s?p x?p th?ng tin tu?n hoàn c?a nguyên t?, tinh th? càng hoàn thi?n, c??ng ?? nhi?u x? Bragg càng cao, c?nh hình thành d?i Kikuchi càng s?c nét. M?u EBSP h?p kim Có th? th?y t? Hình 1, chi?u r?ng c?a kho?ng cách m?ng tinh th? Kikuchi W và d t??ng ?ng gi?a b? m?t có m?i quan h? sau: W = R · θ (1) λ = 2dsinθ (2) Trong ?ó R là kho?ng cách gi?a d?i Kikuchi trên màn hình thu và ?i?m t?i c?a chùm ?i?n t? trên m?u và λ là b??c sóng c?a chùm ?i?n t? t?i.3 EBSD trong nghiên c?u v?t li?u 3.1 ??nh h??ng h?t, phan b? h??ng h?t (k?t c?u vi m?) , ??nh h??ng và xác ??nh thói quen theo thói quen M?u nh?n ???c b?i màn hình EBSD ???c máy ?nh k? thu?t s? CCD thu th?p và g?i ??n máy tính. Máy tính th?c hi?n phép bi?n ??i Hough ?? phát hi?n v? trí c?a t?ng d?i Kikuchi và tính toán góc gi?a các d?i Kikuchi. Sau ?ó, ly thuy?t Góc ?? so sánh các giá tr? c?a Kikuchi và Kikuchi. Hình 4 cho th?y m?t m?u EBSP ?? ???c hi?u ch?nh. Trong hình, “10” cho bi?t tam c?a màn hình nh?n, t?c là giao ?i?m c?a v? trí t?i c?a chùm ?i?n t? trên m?u và ???ng th?ng ??ng c?a màn hình nh?n trên màn hình. N?u v? trí c?a chùm ?i?n t? trên m?u ???c bi?t là vu?ng góc v?i màn hình, thì h??ng tinh th? c?a các h?t có th? ???c tính b?ng ph??ng pháp kikuchi ??n ho?c kikuchi ba. B?ng cách thi?t l?p c?n th?n các ?i?u ki?n th? nghi?m, ?? chính xác tuy?t ??i c?a phép xác ??nh EBSD ??nh h??ng tinh th? có th? là ≤ 0,25 °. N?u chùm ?i?n t? trong m?u ? m?t kho?ng cách nh?t ??nh cho m?t m?u EBSP nh?, m?t khu v?c nh?t ??nh trên b? m?t c?a ánh x? m?u, b?n có th? xác ??nh h??ng m?u ?a tinh th? c?a m?i h?t, tính toán th?ng kê, b?n có th? xác ??nh phan ph?i th?ng kê c?a ??nh h??ng tinh th? - K?t c?u. Do s? phát tri?n nhanh chóng c?a máy ?nh CCD, máy tính và ph?n m?m, EBSD m?i có th? ?o các m?u EBSP r?t nhanh và cho k?t qu? ??nh h??ng h?t. Ví d?, Crystal c?a Oxford c?a Anh có th? thu th?p h?n 100 m?u EBSP m?i giay và ??a ra k?t qu? ??nh h??ng. Có th? ?o lên ??n 512 × 384 ?i?m trong m?t tr??ng xem c?a m?u. B?ng cách thay ??i ?? phóng ??i, chúng t?i có th? xác ??nh k?t c?u trên m?u t? di?n tích mm2 ??n μm2. ?? phan gi?i kh?ng gian c?a EBSD nói chung là kho?ng 0,5μm. N?u ???c l?p ??t trên kính hi?n vi ?i?n t? quét phát x? tr??ng, ?? phan gi?i kh?ng gian có th? nh? h?n 10 nm. Do ?ó, h??ng c?a h?t nm có th? ???c xác ??nh b?ng EBSD. K?t c?u ???c ?o ? ?? phóng ??i cao th??ng ???c g?i là tên mi?n siêu nh?. ??ng th?i, EBSD c?ng có th? ???c s? d?ng ?? ?o các k?t c?u v? m? di?n tích l?n. Sau khi ?o k?t c?u c?a khu v?c lan c?n ? ?? phóng ??i th?p, ph??ng pháp d?ng phim ???c s? d?ng ?? n?i các khu v?c khác nhau ?? có ???c m?t vùng k?t c?u l?n. Ví d?, CHANNAL5 c?a C?ng ty HKL có th? ?o k?t c?u trong ph?m vi 20 mm × 20 mm v?i s? h?p tác c?a giai ?o?n l?y m?u t? ??ng c?a kính hi?n vi ?i?n t?. b?n ??, b?n ?? phan c?c ng??c, ODF, v.v. (xem Hình 5). So v?i nhi?u x? tia X, EBSD có ?u ?i?m là ?o k?t c?u vi m?, k?t c?u c?a khu v?c ???c ch?n và t??ng quan tr?c ti?p hình d?ng h?t v?i h??ng h?t. Ngoài ra, c?u trúc tia X ???c ?o b?ng cách ?o c??ng ?? nhi?u x? c?a h??ng h?t sau khi ch?ng d?n xu?t, ?? chính xác tính toán b?ng m? hình tính toán ?? ch?n, tác ??ng c?a các th?ng s? khác nhau ???c thi?t l?p, k?t c?u ?o chung và ?? l?ch th?c t? c?a h?n 15%. EBSD b?ng cách ?o ??nh h??ng tuy?t ??i c?a t?ng th?ng kê h?t ?? xác ??nh k?t c?u, chúng ta có th? ngh? EBSD là ph??ng ti?n xác ??nh k?t c?u chính xác nh?t. T?t nhiên, so v?i các v?n ?? v? chu?n b? m?u b?ng tia X, EBSD và các thi?u sót khác. Vi?c xác ??nh ??ng th?i các h??ng tinh th? h?c c?a hai pha b?ng EBSD cho phép xác ??nh m?i quan h? tinh th? h?c gi?a hai pha. ?? xác ??nh m?i quan h? tinh th? h?c gi?a hai pha, nói chung c?n ph?i xác ??nh h??ng tinh th? h?c c?a m?i pha trong s? hai pha trên 30 v? trí. Và t?t c? các k?t qu? ?o ??ng th?i chi?u lên cùng m?t bóng ?? chi?u c?c trên các th?ng kê, nh?m thi?t l?p tinh th? h?c hai pha. So v?i TEM và X-ray, vi?c xác ??nh m?i quan h? ??nh h??ng gi?a hai giai ?o?n b?ng EBSD có nh?ng ?u ?i?m r? ràng. B? m?t c?a m?u ???c s? d?ng cho th? nghi?m EBSD ph?ng và ??ng nh?t, và có th? d? dàng tìm th?y h?n 30 v? trí n?i hai pha cùng t?n t?i. ??ng th?i h??ng h?t có th? ???c tính toán t? ??ng b?ng ph?n m?m. Kính hi?n vi ?i?n t? truy?n qua do di?n tích m?u m?ng nh? nên khó tìm th?y h?n 30 m?u trong cùng m?t m?u cùng t?n t?i ? v? trí hai pha. Ngoài ra, h??ng h?t ph?i ???c tính toán th? c?ng. Vì ch?p X-quang nói chung kh?ng có thi?t b? ch?p ?nh nên vi?c ??nh v? chính xác tia X t?i v? trí ?? ?o là r?t khó. Khi kích th??c pha nh?, r?t khó ?? xác ??nh m?i quan h? gi?a các pha tinh th? b?ng tia X. pha th? hai và ch?t n?n ?? l?i v?t trên b? m?t m?u, ??c bi?t khi v?t ?? l?i trên hai ho?c nhi?u b? m?t khu?n, EBSD có th? ???c s? d?ng ?? xác ??nh các m?t ph?ng này Ch? s? tinh th?. máy ?nh k? thu?t s? sau n?m 1999. Vi?c xác ??nh pha ?òi h?i máy ?nh ph?i có ?? s? thang màu xám và ?? phan gi?i kh?ng gian ?? cao ?? phát hi?n các ???ng Kikuchi y?u. Máy ?nh CCD hi?n nay th??ng có thang màu xám 12bit, t?c là 212 m?c xám và ?? phan gi?i kh?ng gian lên ??n 1300 × 1024, ?? ?áp ?ng các yêu c?u nh?n d?ng pha. Vi?c xác ??nh các giai ?o?n v?i EBSD c?n s? h? tr? c?a EDS. T?ng quát tr??c tiên v?i ph? n?ng l??ng ?? xác ??nh các ph?n t? c?a pha ???c xác ??nh b?i thành ph?n, và sau ?ó thu th?p m?u EBSP pha. T?t c? các ??i t??ng có th? hình thành v?i các ph?n t? này ??u ???c hi?u ch?nh theo m?u và ch? pha kh?p chính xác v?i m?u m?i là pha ???c xác ??nh (xem Hình 6). C?n ch? ra r?ng nguyên t?c nh?n d?ng pha c?a EBSD khác v?i xác ??nh pha c?a TEM và nhi?u x? tia X. EBSD ch? y?u d?a trên góc gi?a m?t tinh th? ?? xác ??nh pha, vì EBSP ch?a th?ng tin ??nh h??ng tinh th? kho?ng 70 ° và TEM d?a trên kho?ng cách gi?a các m?t ph?ng và góc tinh th? ?? xác ??nh pha, X-ray d?a trên m?t ph?ng kho?ng cách và c??ng ?? nhi?u x? t??ng ??i c?a m?i m?t tinh th? ?? xác ??nh pha. Vì tia X có th? ?o chính xác kho?ng cách gi?a các m?t ph?ng, do ?ó, vi?c xác ??nh pha tia X kh?ng yêu c?u ph?i bi?t tr??c v? thành ph?n pha; và EBSD và TEM trong vi?c xác ??nh l?i kho?ng cách gi?a các m?t ph?ng l?n h?n, tr??c tiên b?n ph?i xác ??nh các thành ph?n pha ???c xác ??nh ?? Thu h?p ph?m vi ?ng viên. Tuy nhiên, ba ph??ng pháp nhi?u x? ??u gi?ng nhau v? ?? nhi?u x? c?a m?t m?t ph?ng tinh th? nh?t ??nh, ngh?a là, h? s? c?u trúc c?a m?t ph?ng tinh th? kh?ng ???c b?ng 0. Hình 6 EBSP c?a thép kh?ng g? AlN và Cr23C6 và k?t qu? hi?u chu?n c?a chúng3. 3 Ph??ng pháp ?o phan b? bi?n d?ng EBSD3.3.1 Bi?u ?? ch?t l??ng m?u EBSD Trong EBSD, m?i m?u nhi?u x? ???c bi?u di?n b?ng m?t giá tr? ch?t l??ng m?u d?a trên ?? s?c nét c?a nó và có th? ???c s? d?ng ?? l?p b?n ??. ?i?m sáng t??ng ?ng v?i ch?t l??ng m?u cao, ?i?m t?i t??ng ?ng v?i ch?t l??ng m?u th?p. Ch?t l??ng th?p có ngh?a là m?ng tinh th? kh?ng hoàn ch?nh, có r?t nhi?u khuy?t t?t và sai l?ch khác. Ph??ng pháp b?n ?? ch?t l??ng m?u thích h?p ?? ?o phan b? bi?n d?ng trong m?t h?t ??n l? và kh?ng thích h?p ?? xác ??nh s? phan b? bi?n d?ng gi?a các h?t riêng l? ho?c các pha khác nhau có h??ng tinh th? khác nhau vì ngay c? khi kh?ng có h?t bi?n d?ng ho?c tinh th? khác nhau Các ??nh h??ng M?i có m?t giá tr? ch?t l??ng m?u khác nhau.3.3.2 S? phan b? ranh gi?i h?t C? s? là vùng bi?n d?ng có m?t s? l??ng l?n các ???ng biên h?t góc th?p (ch?ng h?n nh? ranh gi?i h?t có m?c ?? kh?ng phù h?p t? 2 ° ??n 10 °) .3.3. 3 B?n ?? kh?ng kh?p c?c b? Tính toán trung bình c?a các góc kh?ng kh?p gi?a m?i ?i?m ?o và tám ?i?m lan c?n c?a nó, có tính ??n các ranh gi?i h?t góc cao (ví d?: ranh gi?i h?t> 5 °), kh?ng tính ??n s? thay ??i bi?n d?ng c?c b?, b?t k? kích th??c h?t.3.3.4. S? ?? kh?ng kh?p trong m?t Trong m?i h?t, ?i?m mà t?i ?ó gradient góc kh?ng kh?p là nh? nh?t (t?c là ?i?m có th e ít bi?n d?ng nh?t) ???c tính toán. L?y h??ng c?a ?i?m này làm h??ng tham chi?u, các góc kh?ng kh?p c?a t?t c? các ?i?m khác trong tinh th? ??i v?i ?i?m này ???c tính. Bi?u ?? này cho th?y r? các h?t c?ng nh?t.3.3.5 Bi?u ?? bi?n d?ng t??ng ???ng Tính toán s? phan b? ??nh h??ng trong m?i h?t và cho m?t tr?ng l??ng nh?t ??nh theo kích th??c h?t. Sau ?ó, m?t h? s? làm m?n ???c s? d?ng ?? làm m?n s? phan b? isostrain c?a toàn b? khu v?c, ?i?u này làm n?i b?t khu v?c bi?n d?ng cao (xem Hình 7). , góc kh?ng kh?p gi?a các h?t có th? d? dàng tính toán ?? phan bi?t ranh gi?i h?t góc l?n, ranh gi?i h?t góc nh?, ranh gi?i h?t ph? và các lo?i t??ng t?, và có th? ???c nghiên c?u theo m? hình m?ng tinh th? trùng h?p (CSL's) Cho dù ranh gi?i h?t là ranh gi?i h?t g?n k?t. Ch?ng h?n nh? Σ3, Σ9, Σ27 và các ranh gi?i m?ng tinh th? trùng h?p khác nói chung là các ranh gi?i song sinh. Ngoài ra, có th? nghiên c?u các góc kh?ng kh?p khác nhau.3.5 Xác ??nh h?ng s? m?ng B?ng cách ?o chi?u r?ng c?a vùng kikuchi, kho?ng cách gi?a các m?t ph?ng c?a các m?t ph?ng tinh th? t??ng ?ng có th? ???c tính toán. C?n ch? ra r?ng c?nh c?a m?i d?i Kikuchi t??ng ???ng v?i hai ???ng cong hypebol, do ?ó giá tr? ?? r?ng ?o ???c t?i các v? trí khác nhau trong d?i Kikuchi là khác nhau. Kikuchi th??ng ???c ?o ? ?? r?ng h?p nh?t c?a d?i ?? tính toán kho?ng cách tinh th?. Do sai sót trong quá trình ?o, sai s? ?o kho?ng cách gi?a các m?t ph?ng b?ng EBSD nói chung là kho?ng 1,5%. Do ?ó, EBSD kh?ng ph?i là m?t ph??ng pháp ??c bi?t ?? ?o h?ng s? m?ng, ngoài các c?ng d?ng trên, EBSD có th? xác ??nh chính xác h??ng h?t tinh th? c?a các m?u khác nhau. Khi h?t m?u khó ???c xác ??nh b?ng ph??ng pháp kim lo?i h?c, thì s? phan b? th?c t? c?a các h?t tinh th? và s? phan b? c?a kích th??c h?t trong m?u có th? ???c xác ??nh b?ng EBSD.4 K?t lu?n C?ng ngh? nhi?u x? tán x? ng??c ?i?n t? (EBSD) r?t thành th?c và ???c s? d?ng r?ng r?i ?? ??nh h??ng h?t, k?t c?u vi m?, ??nh h??ng, b? m?t m?i tr??ng s?ng và xác ??nh pha, phan b? bi?n d?ng, ??c tính ranh gi?i h?t và h?ng s? m?ng xác ??nh khác. So v?i nhi?u x? tia X th??ng ???c s? d?ng, nhi?u x? ?i?n t? ch?n l?c trong TEM có nh?ng ??c ?i?m riêng. ??c bi?t khi ???c g?n trên kính hi?n vi ?i?n t? quét, kính hi?n vi ?i?n t? quét s? h?u ch?c n?ng quan sát hình thái, phan tích c?u trúc và xác ??nh thành ph?n (v?i ph? n?ng l??ng và quang ph?) nh? m?t c?ng c? phan tích toàn di?n.
Ngu?n: Meeyou cacbua