Wsystem oringowy

Spektrometr energii EDS jest przyrz?dem do analizy elementów materia?owych, cz?sto ??czonym ze skaningowym mikroskopem elektronowym lub transmisyjnym mikroskopem elektronowym. Bombarduje powierzchni? próbki wi?zk? elektronów w komorze pró?niowej, aby wzbudzi? materia? do emisji charakterystycznych promieni rentgenowskich. W zale?no?ci od d?ugo?ci fali charakterystycznych promieni rentgenowskich mo?e jako?ciowo i pó?ilo?ciowo analizowa? pierwiastki BU w uk?adzie okresowym pierwiastków. EDS mo?e zapewni? analiz? mikrojako?ciow? lub pó?ilo?ciow? elementów sk?adowych na powierzchni próbki oraz analiz? punktow?, liniow? i mapow? okre?lonych obszarów.

Punkty wymagaj?ce uwagi w analizie danych

stosowany g?ównie do analizy jako?ciowej pierwiastków;

spektrometr energii mo?e analizowa? pierwiastki o liczbie atomowej wi?kszej ni? 5, a spektrometr mo?e analizowa? wszystkie pierwiastki o liczbie atomowej od 4 do 92;

Metody analizy EDS obejmuj? analiz? punktow?, analiz? liniow? i analiz? powierzchni; Wszystkie elementy punktu uzyskuje si? poprzez analiz? punktow?; Analiza liniowa: za ka?dym razem przeprowadzaj analiz? elementów na okre?lonej linii i skanuj wielokrotnie, aby uzyska? rozk?ad liniowy wszystkich elementów; Analiza powierzchni analizuje wszystkie elementy znajduj?ce si? na okre?lonej powierzchni, a mierzona zawarto?? pierwiastków jest ?redni? warto?ci? zakresu powierzchni pomiarowej. obj?to?? wzbudzona przez EDS do analizy mikroobszarowej wynosi oko?o 10um3;

EDS jest cz?sto u?ywany w po??czeniu z SEM do skanowania morfologii punktów, linii i powierzchni oraz analizy sk?adu cz??ci docelowej;

granica wykrywalno?ci: 0,1%, mo?na przeprowadzi? tylko analiz? pó?ilo?ciow?, dok?adno?? wynosi zazwyczaj 1% do 5%, a g??boko?? wynosi zazwyczaj 1 ~ 5 mikronów.

Obszary zastosowań i przypadki analityczne

• Wykrywanie elementów przychodz?cych materia?ów koralików ?wietlnych

• Analiza struktury chipa

• Analiza konstrukcji wsporczej

• Rozk?ad pierwiastków w materia?ach baterii litowych